微米和納米加工制造儀可應用的領域包括表面化學、材料科學、工業應用、半導體器件的電子元件制造和生物固定和生物傳感應用等領域。
 

　　微納加工技術指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統的優化設計、加工、組裝、系統集成與應用技術，涉及領域廣、多學科交叉融合，其主要的發展方向是微納器件與系統（MEMS和NEMS）。微納器件與系統是在集成電路制作上發展的系列專用技術，研制微型傳感器、微型執行器等器件和系統，具有微型化、批量化、成本低的鮮明特點，對現代生活、生產產生了巨大的促進作用，并催生了一批新興產業。
 

　　微納加工技術是先進制造的重要組成部分，是衡量國家高等制造業水平的標志之一，具有多學科交叉性和制造要素極度性的特點，在推動科技進步、促進產業發展、拉動科技進步、保障國防安全等方面都發揮著關鍵作用。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種。顯然，微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系。